全国服务热线:15058717777

真空炉:加热元件在真空高温氢气烧结炉中常见的故障有哪些?

2025-07-02

在真空高温氢气烧结炉中,加热元件因长期处于极端环境(高温、高真空、氢气气氛),可能出现多种故障。以下是常见故障类型、成因及典型表现的详细分析:

 

一、材料劣化类故障

1. 氢脆断裂

  • 成因:高温氢气渗入金属晶格(如钨、钼),形成氢化物,导致材料脆性增加,在热应力或机械振动下易断裂。

  • 典型表现:元件表面出现细微裂纹,断裂面呈结晶状,尤其在温度骤变或频繁启停炉时更易发生。

  • 案例:钼丝在 1000℃以上氢气中长时间使用后,冷态下轻轻触碰即断裂。

 

2. 氧化腐蚀

  • 成因

    • 真空度不足(如泄漏导致空气渗入),氧气与高温元件反应(如钨 + 氧气→三氧化钨 WO₃)。

    • 氢气纯度不足(含水分 H₂O 或氧气 O₂),高温下分解出氧原子。

  • 典型表现:元件表面生成***(WO₃)或蓝色(MoO₃)氧化层,电阻增大,加热效率下降,严重时氧化层脱落导致断线。

 

3. 金属蒸汽沉积损伤

  • 成因:烧结工件(如含铜、铁的粉末)在高温下挥发,金属蒸汽沉积在元件表面,形成低熔点合金(如钨 - 铜合金),降低元件熔点。

  • 典型表现:元件表面出现金属光泽斑点,局部熔化变形,甚至短路。

 

二、结构损坏类故障

1. 热应力开裂

  • 成因

    • 升温 / 降温速率过快(如超过 15℃/min),导致元件内外温差大,热应力超过材料强度。

    • 支撑结构与元件热膨胀系数不匹配(如陶瓷支撑件膨胀率低于钼丝),冷却时挤压元件。

  • 典型表现:螺旋状钨丝在拐角处出现横向裂纹,或带状钼片边缘开裂。

 

2. 机械损伤与变形

  • 成因

    • 安装时元件张力过大或支撑不牢固,运行中因热胀冷缩产生位移、碰撞。

    • 工件掉落砸中元件,或检修时工具磕碰。

  • 典型表现:钨丝螺旋结构变形、间距不均,或钼带出现折弯痕迹,导致局部电阻异常。

 

三、电气故障

1. 电阻异常增大

  • 成因

    • 元件氧化、氢脆导致内部晶格缺陷增多,或表面沉积杂质(如碳化物)。

    • 接头处氧化(如电极与元件连接处接触不良),接触电阻增大。

  • 典型表现:相同功率下电流减小,升温速度变慢,或温控系统显示超温报警(实际温度未达设定值)。

 

2. 短路或接地故障

  • 成因

    • 元件变形后与炉壁、隔热屏或工件接触,或金属蒸汽沉积导致绝缘失效。

    • 电极引出端绝缘陶瓷破裂,引发漏电。

  • 典型表现:电源跳闸,加热电流骤增,或真空系统中出现异常电弧光。

 

四、气氛相关故障

1. 氢气腐蚀加速

  • 成因

    • 氢气流量不足,炉内残留空气未排净,或氢气纯度低于 99.9%(含 CO、CO₂等杂质),与钨反应生成脆性碳化物。

    • 炉内压力波动(如真空泵故障导致真空度下降),氢气浓度不稳定。

  • 典型表现:元件表面出现暗灰色斑点,硬度增加但延展性丧失,使用寿命缩短 50% 以上。

 

2. 爆炸风险(极端情况)

  • 成因

    • 开机时未先抽真空就通入氢气,炉内空气与氢气混合达到爆炸极限(4%-75%),遇高温元件点燃。

    • 氢气泄漏至炉外,与空气混合后被元件辐射热引燃。

  • 典型表现:炉内异响、压力骤升,或炉外出现火焰(需立即切断气源并启动应急系统)。

 

五、温控与监测故障

1. 测温不准导致超温

  • 成因

    • 热电偶(如 B 型)接触元件表面氧化层,或红外测温仪被金属蒸汽遮挡,测量值低于实际温度。

    • 温控系统 PID 参数设置不当,升温过冲量过大(如超过设定值 50℃)。

  • 典型表现:元件颜色异常发白(钨丝超过 3000℃时),或隔热屏出现熔融痕迹。

 

2. 保护系统失效

  • 成因

    • 超温报警器误动作或不动作(如传感器接线松动),过载保护器额定电流设置过高。

    • 真空 - 加热联锁失效(如真空计故障未触发停机)。

  • 后果:元件在异常气氛或超温下持续运行,加速损坏甚至引发安全事故。

 

故障预防与诊断策略

故障类型预防措施诊断方法
氢脆 / 氧化使用 99.99% 高纯氢气,开机前抽真空至 10⁻³ Pa,定期检漏(氦质谱)目视检查元件表面颜色,测量电阻变化
热应力开裂控制升温速率≤10℃/min,支撑件选用石墨或匹配热膨胀系数的陶瓷停机冷却后观察元件裂纹,红外热成像检测
电气短路元件与炉体间距≥50mm,电极绝缘陶瓷定期耐压测试(1000V 直流)绝缘电阻表测量接地电阻(≥100MΩ)
气氛异常安装氢气纯度分析仪、压力传感器,设置联锁停机阈值(如真空度>10⁻² Pa 时停加热)检测炉内气体成分,记录压力 - 温度曲线

 

总结

加热元件故障的核心诱因是 “环境适应性不足” 与 “控制精度缺陷”。通过材料优选(抗氢脆、耐高温)、结构优化(防热应力、防短路)、气氛精准控制(高纯氢气、真空保障)及多重保护联锁(超温、漏电、真空联动),可大幅降低故障概率。日常维护中需重点关注元件表面状态、电阻值变化及温控系统精度,实现故障的早期预警与及时处理。


微信
电话咨询

15058717777

联系我们