真空炉作为高精度热加工设备，其内部清洁度直接决定真空度稳定性、热场均匀性及工件加工质量。长期使用中，粉尘、工艺残留（如金属氧化物、油污）易附着于核心部件表面，导致真空抽速下降、加热元件老化加速，甚至引发密封失效，因此科学规范的清洗是真空炉维护的关键，需结合设备结构与工况特性制定针对性方案。

核心部件清洗策略

过滤器清洗

过滤器是拦截进气端粉尘的核心部件，堵塞会直接增加真空泵负载。对于可重复使用的金属网或陶瓷过滤器，优先采用干燥洁净的压缩空气沿气流反向吹扫，清除表面浮尘；若附着油污或粘性残留，需选用与过滤器材质兼容的中性清洁剂（如异丙醇溶液）浸泡后轻柔刷洗，晾干后复装，避免硬质工具划伤过滤介质。一次性纸质过滤器需定期更换，不可重复清洗，防止残留杂质随气流进入炉膛。

炉膛内壁清洗

炉膛内壁残留的金属碎屑、氧化物会破坏热场均匀性，高温下还可能与炉膛耐高温涂层发生反应。清洁需待炉膛冷却至常温，用软质无尘布蘸取专用炉膛清洁剂（禁用腐蚀性试剂，以防损伤涂层）轻轻擦拭；针对顽固残留，可将细粒度氧化铝粉末与酒精混合成糊状，轻柔打磨后擦拭干净，确保无清洁剂或研磨剂残留，避免高温下释放有害气体影响工件质量。

密封面清洗

密封面（如炉门 O 形圈沟槽、法兰接口）的清洁度直接影响真空密封完整性。可用无尘布蘸取无水乙醇擦拭密封面，清除油污及细小杂质；同时检查 O 形圈是否存在老化、变形或划痕，若密封面有细微划痕，需用细砂纸轻微抛光后再清洁，防止杂质嵌入密封间隙导致真空泄漏。

清洗操作注意事项

清洗过程中需避免水基清洁剂接触电气部件（如热电偶接口、加热元件接线柱），防止短路；保护炉膛内隔热层，避免机械碰撞导致破损，影响保温性能；对于高温合金材质的部件，禁用强酸强碱清洁剂，防止材质腐蚀引发结构强度下降。此外，清洗后需确保所有部件完全干燥，防止潮湿环境下部件锈蚀或冷却后凝结水影响真空度。

清洗后的性能验证

部件复装后需进行真空度测试：启动真空泵，观察真空抽速是否恢复至正常范围，保压一段时间后检查真空度衰减情况，确认无泄漏；随后空载运行加热程序，监测炉膛内温度分布，验证热场均匀性，确保清洗未对加热元件或温度传感器造成损伤。

日常维护建议

根据真空炉使用频率制定清洗周期：过滤器每 1-2 个月清洁或更换一次，炉膛每 3-6 个月深度清洁一次；每次使用后待炉膛冷却，简单擦拭内壁及密封面，减少污染物积累；长期存放时需保持炉内干燥，可放置干燥剂防止部件锈蚀，同时定期启动真空泵维持炉内低湿度环境。

真空炉的清洗需平衡 “彻底除污” 与 “部件保护”，通过针对性的部件清洗、科学的方法选择及清洗后的性能验证，可有效维持设备精度，延长使用寿命，保障热加工工艺的稳定性。操作时需严格遵循设备制造商技术规范，避免不当清洗引发设备故障。